小型双炉体滑动管式炉

炉体结构

• 两个炉体在一个滑动轨道上，炉体zui高工作温度1200℃
• 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm
• 一个滑动轨道安装在两炉体底部，可手动推动炉体滑动
• 仪器中配有不锈钢密封法兰

总功率

2.5KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关）

zui高工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

加热&冷却速率

加热区长度

每个炉体的加热区为200mm

恒温区

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管

• 高纯石英管
• 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
  

温度控制系统

• 两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序。
• 控温仪表操作视频
• 设置有超温和断热偶报警
• 包括2个K型热电偶（已安装在炉体上）
• 可选:可选择控制模块MTS-02，可使用电脑来控制炉体的升降温
   （点击图片查看详细资料）

真空法兰

• 仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表
• 可选购KF25接口的法兰（提高抽气速率)，数显真空计
   

滑轨长度

1200mm

真空度

• 10E-5 torr（采用分子泵）
• 10E-2 torr（采用机械泵）
• 可在本公司选购真空泵
   

可选

• 可选择电动滑轨，更好的控制快速升降温速率
• 1-9通道质量流量计（MFC）控制的供气系统
• 100W-500W的射频等离子源
• 这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统
    

尺寸

1500 x 380 x 620 mm（炉体＋滑轨）

净重

约80kg

质保期

一年质保期，终身维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）

质量认证

• CE认证
• 所有电器元件（输入电压>24V）都通过了UL/MET/CSA认证
• 本公司保证此设备通过TUV(UL61010）或CSA认证（需额外出认证费用）
      

使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa
• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全
• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态